Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten.

Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten.

Taschenbuch

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Beschreibung

Es wird ein neues Verfahren zum reaktiven Sputtern von transparenten und leitfähigen (TCO) Schichtsystemen vorgestellt.
Haupt-Genre
Fachbücher
Sub-Genre
Technologie
Format
Taschenbuch
Seitenzahl
135
Preis
65.50 €