STM-Untersuchungen an amorphen ZrCo- und ZrAlCu-Aufdampfschichten

Mit dem Rastertunnelmikriskop sind in situ amorphe Aufdampfschichten binärer ZrCo-Legierungen sowie Schichten des metallischen Glases untersucht worden. Dabei wurden Oberflächenstrukturen auf zwei unterschiedlichen Längenskalen beobachtet. Auf atomarer Skala sind Strukturen mit einem Durchmesser von 5-7 A sichtbar, welche als einzelne Oberflächenatome interpretiert werden können und die intrinsische Rauhigkeit amorpher Schichten widerspiegeln. Auf mesoskopischer Längenskala werden gleichförmige hügelartige Oberflächenstrukturen mit einer lateralen Ausdehnung von einigen Nanometern sichtbar, deren Größe offensichtlich vo den jeweiligen Herstellungsparametern abhängt. In diesem Zusammenhang sind neben der Zusammensetzung vor allem Schichtdicke und Substrattemperatur zu nennen. Diese wachstumsinduzierten Korrugationen relaxieren bei Auslagerung der Schicht oberhalb der Glasübergangstemperatur. Ursache hierfür ist die deutliche Viskositätsabnahme im Bereich der unterkühlten Schmelze. Die intrinsische Rauhigkeit bleibt jedoch erhalten.