Rückgeführte, hochgenaue Größenmessung von Nanopartikeln im Transmissionsmodus eines Rasterelektronenmikroskops

Opt-74: T. Klein: Rückgeführte, hochgenaue Größenmessung von Nanopartikeln im Transmissionsmodus eines Rasterelektronenmikroskops 212 S., 97 Abb., 26 Tab., ISBN 978-3-95606-092-2, 2014 € 22,50 Es wird das sogenannte TSEM-Verfahren zur hochgenauen, rückgeführten Größenmessung von Nanopartikeln vorgestellt, das auf der Detektion der durch die Probe hindurchtretenden Elektronen in einem Rasterelektronenmikroskop basiert. Die Rückführbarkeit wird durch die Kalibrierung der Pixelgröße mit Hilfe von rückgeführt vermessenen zweidimensionalen Gittern sichergestellt. Durch die Automatisierung sowohl der Aufnahme als auch der Auswertung der TSEM-Bilder können tausende Partikel in akzeptabler Zeit vermessen werden.