Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten.
von Bernd Szyszka
Taschenbuch
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Beschreibung
Es wird ein neues Verfahren zum reaktiven Sputtern von transparenten und leitfähigen (TCO) Schichtsystemen vorgestellt.
Buchinformationen
Haupt-Genre
Fachbücher
Sub-Genre
Technologie
Format
Taschenbuch
Seitenzahl
135
Preis
65.50 €
Beschreibung
Es wird ein neues Verfahren zum reaktiven Sputtern von transparenten und leitfähigen (TCO) Schichtsystemen vorgestellt.
Buchinformationen
Haupt-Genre
Fachbücher
Sub-Genre
Technologie
Format
Taschenbuch
Seitenzahl
135
Preis
65.50 €